醫用制氧機(變壓吸附制氧機)的制氧流程如圖所示,制氧原料是空氣,空氣經過濾后(將空氣中的油、塵埃、水分、固體雜質等去除)進入壓縮機壓縮,壓縮后的高壓空氣經冷卻后進入吸附塔進行吸附分離,吸附塔中裝有分子篩,其中的氮氣和二氧化碳都會被分子篩吸附,從吸附塔中流出的氣體就是純度比較高的氧氣,可作為醫用氧氣。
變壓吸附(PSA)制氧機是以沸石分子篩為吸附劑,利用加壓吸附,降壓解吸的原理,實現O2、N2的動力學分離,從空氣中吸附和釋放氮氣,從而分離出氧氣的自動化設備。沸石分子篩對O2、N2的分離作用是基于這兩種氣體的動力學直徑的微小差別,N2及其他CO2、H2O等分子在沸石分子篩的微孔中有較快的擴散率,O2分子擴散速率較慢,最終從吸附塔富集出來的是O2分子。